未知物化学成分检测

        未知物化学成分分析分析是指针对未知物进行成分分析的一种检测方法，根据未知物的形态、未知物材料检测深度及检测面积等差异而选用相应的仪器，对未知物成分进行分析，测定其中元素成分及含量，进而分析组成的一种分析方法。未知物成分分析的分析手段主要有以下几种：

       1，扫描电镜分析，其主要是通过扫描电子显微镜&X射线能谱SEM/EDS来分析表面异物的成分，其分析领域主要包括：表面微观形貌观察，微米级尺寸量测，微区成分分析，污染物分析。该方法的主要特点为能快速的对各种试样的微区内Be~U的大部分元素进行定性、定量分析，分析时间短。具体的检测标准包括JY/T 010-1996，GB/T 17359-2012。

        2.飞行时间二次离子质谱TOF-SIMS分析，其主要是通过飞行时间二次离子质谱TOF-SIMS对样品进行成分分析，其应用的领域包括：有机材料和无机材料的表面微量分析，表面离子成像，深度剖面分析。该检测方法的特点为：优异的掺杂剂和杂质检测灵敏度可以检测到ppm或更低的浓度，深度剖析具有良好的检测限制和深度辨析率，小面积分析。依据的检测标准主要为：ASTME1078-2009，ASTM E1504-2011，ASTM E1829-2009。

        3.动态二次离子质谱D-SIMS分析，该分析方法主要是通过动态二次离子质谱D-SIMS分析对样品进行未知物分析，分析领域主要包括：产品表面微小的异物分析，氧化膜厚度分析；掺杂元素的含量测定。该检测方法特点为：分析区域小，能分析≥10μm直径的异物成分；分析深度浅，可测量≥1nm样品；检出限高，一般是ppm-ppb级别。检测标准主要为：ASTM E1078-2009，ASTM E1504-2011，ASTM E1829-2009。

        4.俄歇电子能谱AES分析，该分析方法主要是通过俄歇电子能谱AES吃饭样品进行成分分析，分析领域主要包括：缺陷分析，颗粒分析，深度剖面分析，薄膜成分分析。该方法特点为：可以作表面微区的分析，并且可以从荧光屏上直接获得俄歇元素像。该检测方法的依据标准为：GB/T 26533-2011。

        5.X射线光电子能谱XPS分析，该分析方法主要是通过X射线光电子能谱XPS对样品进行成分，分析领域主要包括：有机材料、无机材料、污点、残留物的表面分析，表面成分及化学状态信息，深度剖面分析。该分析方法的特点为：分析层薄，分析元素广，可以分析样品表面1-12nm的元素和元素含量。检测标准为：GB/T 30704-2014。